Glavne komponente skenirajućeg elektronskog mikroskopa uključuju:
Izvor elektrona – Ovdje se elektroni generiraju termički na naponu od 1-40kV. Elektroni se kondenzuju u snopove koji se koriste za kreiranje simuliranih slika i analiza. Mogu se koristiti tri vrste izvora elektrona. e volframova žica, lantan heksaborid i emisioni pištolj (FEG)
Sočiva – Ima nekoliko kondenzatorskih leća koje fokusiraju snop elektrona od izvora kroz kolonu u uski snop, formirajući tačku koja se zove veličina tačke.
Zavojnica za skeniranje – koristi se za skretanje zraka na površinu uzorka.
Detektor – sastoji se od nekoliko detektora koji mogu razlikovati sekundarne elektrone, povratno raspršene elektrone i difraktirane povratno raspršene elektrone. Funkcionalnost detektora u velikoj meri zavisi od brzine napona, gustine uzorka.
Uređaj za prikaz (uređaj za izlaz podataka)
napajanje
Vakuumski sistem
Poput transmisionog elektronskog mikroskopa, skenirajući elektronski mikroskop ne bi trebao biti bez vibracija i bilo kakvih elektromagnetnih elemenata.
